Hochleistungskeramik für die Halbleiterindustrie? Enorm widerstandsfähig.

Wir fertigen hochwertige monolithische Großbauteile aus Hochleistungskeramik für die Halbleiterindustrie. Natürlich müssen diese besonders widerstandsfähig sein. Nur so können die Bauteile den extremen Bedingungen bei der Herstellung von Halbleitern standhalten. Diese Anforderung erfüllen wir durch den Einsatz von hochreinen Materialien. So überstehen die Hochleistungskeramiken hohe Temperaturen, Temperaturwechsel, Chemikalien oder den Einsatz von Plasmen und Ionenstrahlen. Unsere keramischen Bauteile für die Halbleiterindustrie heben sich vor allem durch ihre Belastbarkeit über lange Zeiträume ab. Damit ermöglichen sie einen effizienten Betrieb von Prozessierungsanlagen. Um den besonderen Anforderungen an Bauteile für die Halbleiterindustrie zu entsprechen, setzen wir auf Ingenieurswissen, Erfahrung und beste Qualität. Außerdem gewährleisten wir durch den Einsatz unseres hochmodernen Maschinenparks absolute Präzision – bis in den Mikrometer-Bereich! So können wir bei KYOCERA Fineceramics Precision GmbH für alle Segmente der Halbleiterindustrie optimale Technische Keramik liefern. Für Lithographie, Deposition (CVD + PVD), Diffusion, Rapid Thermal Processing (RTP), Ionenimplantation und Etching.

Die Vorteile unserer Technischen Keramik?

  • Gefertigt aus hochreinen Materialien
  • Enorme Widerstandsfähigkeit
  • Exzellente Lebensdauern

Was wir bieten? Vielseitige Hochleistungskeramik.

  • Monolithische Großbauteile nach Kundenwunsch
  • Elektrostatische Chuck-Systeme
  • Kammerkomponenten
  • Gassysteme
  • Handhabung von Wafern

Monolithische Großbauteile für die Halbleiterindustrie

Monolithische Großbauteile aus Hochleistungskeramik eignen sich herausragend für die Halbleiterindustrie. Die Nachfrage nach immer größeren Bauteilen steigt durch wachsende Durchmesser von Siliziumwafern oder komplexer werdende Maschinen. Für uns stehen kundenspezifische Lösungen und Produkte klar im Fokus. Um die Potentiale unserer Materialien optimal auszuschöpfen, arbeiten wir deshalb eng mit unseren Kunden zusammen – von der Entwicklung über die Fertigung von Prototypen, Fertigungsmustern bis zur Produktionsreife der Serie. Gerne unterstützen wir auch Sie bei Ihrem Produkt nach Kundenwunsch. Unser Ziel: Ihre individuellen Anforderungen für die Halbleiterindustrie optimal zu erfüllen. Zu unserem Leistungsportfolio gehören sowohl kleine keramische Bauteile als auch monolithische Teile mit Maßen bis zu 1000 mm x 1000 mm x 650 mm. Lassen Sie sich von den vielfältigen Möglichkeiten unserer Hochleistungskeramiken überzeugen.

Wafer Chucks
Frame Parts
Keramische Bauteile

Ansprechpartner

Bei Interesse berät Sie gerne:

Herr Jürgen Hollering
Head of Sales Semiconductor
E juergen.hollering@kyocera-precision.com
T +49 9287 807-154
M +49 160 90723144