Wafer Chucks
Einsatzgebiet: Halteplatten für Si-Wafer für verschiedenste Arbeitsgänge während der Chip-Fertigung in der Halbleiterindustrie
Material: StarCeram Si
Werkstoff: Siliciumcarbid (SiSiC)
Branche: Halbleiterindustrie
Sie interessieren sich für Wafer Chucks oder haben noch Fragen zum Produkt?
Vorteile:
- Steifigkeit
- Geringe Wärmedehnung
- Niedriges Gewicht
- Wafer Chucks mit Durchmesser bis zu 520 mm
